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SuperViewW1三維光學(xué)輪廓粗糙度儀是目前三維形貌測(cè)量領(lǐng)域高精度的檢測(cè)儀器之一。在同等放大倍率下，測(cè)量精度和重復(fù)性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。對(duì)高深寬比的溝槽結(jié)構(gòu)，可以得到理想的測(cè)量結(jié)果。

SJ5700E粗糙度輪廓表面測(cè)量?jī)x為全自動(dòng)測(cè)量設(shè)備，操作者只需裝好被測(cè)工件，在檢定軟件上設(shè)定掃描的開(kāi)始、結(jié)束位置，點(diǎn)擊【開(kāi)始】按鈕，測(cè)針會(huì)自動(dòng)接觸工件表面，并按設(shè)定的位置掃描；可高精度地測(cè)量精密加工零部件的粗糙度和輪廓形狀，再選擇所需評(píng)價(jià)參數(shù)即可進(jìn)行評(píng)價(jià)。系統(tǒng)軟件為簡(jiǎn)體中文操作系統(tǒng)，操作方便。

SuperViewW1三維白光光學(xué)輪廓測(cè)量?jī)x以白光干涉技術(shù)為原理，能夠以優(yōu)于納米級(jí)的分辨率，測(cè)試各類(lèi)表面并自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)，廣泛應(yīng)用于光學(xué)，半導(dǎo)體，材料，精密機(jī)械等等領(lǐng)域。是一款非接觸測(cè)量樣品表面形貌的光學(xué)測(cè)量?jī)x器。

中圖粗糙度輪廓測(cè)量?jī)xSJ5700S高精度、高穩(wěn)定性、高重復(fù)性：滿足被測(cè)件測(cè)量精度要求?？蓽y(cè)量各種精密機(jī)械零件的粗糙度和輪廓形狀參數(shù)。還可對(duì)各種零件表面的粗糙度進(jìn)行測(cè)試評(píng)定；可對(duì)平面、斜面、外圓柱面、內(nèi)孔表面、深槽表面、圓弧面和球面的粗糙度進(jìn)行測(cè)試，并實(shí)現(xiàn)多種參數(shù)測(cè)量。

SuperViewW1白光光學(xué)輪廓度測(cè)量?jī)x對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。除主要用于測(cè)量表面形貌或測(cè)量表面輪廓外，具有的測(cè)量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽(yáng)能電池和玻璃面板的翹曲度測(cè)量，應(yīng)變測(cè)量以及表面形貌測(cè)量。

中圖儀器3d光學(xué)輪廓儀檢測(cè)儀SuperViewW1以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過(guò)系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量。