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NS系列薄膜臺(tái)階測量儀利用光學(xué)干涉原理，通過測量膜層表面的臺(tái)階高度來計(jì)算出膜層的厚度，此外還可以用于表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量，具有測量精度高、測量速度快、適用范圍廣等優(yōu)點(diǎn)。

VT6000材料光學(xué)共聚焦顯微鏡以共聚焦技術(shù)為原理，結(jié)合精密縱向掃描，以在樣品表面進(jìn)行快速點(diǎn)掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點(diǎn)并重建出3D真彩圖像，從而進(jìn)行分析。

SuperViewW白光干涉儀三維表面測量系統(tǒng)讓輪廓測量價(jià)格更為實(shí)惠。應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，操作簡便，可自動(dòng)聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)。

VT6000材料性能表征共聚焦測量顯微鏡基于光學(xué)共軛共焦原理，以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ)，結(jié)合精密縱向掃描，以在樣品表面進(jìn)行快速點(diǎn)掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點(diǎn)并重建出3D真彩圖像.

NS200探針納米級(jí)表面測量臺(tái)階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器，其主要用于臺(tái)階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。

SuperViewW白光干涉微觀形貌測量儀是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測量的檢測儀器。它基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸，可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。