SJ6000激光干涉儀精密測量及校準(zhǔn)系統(tǒng)可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在動態(tài)測量軟件配合下,可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測,以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析,如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。
中圖儀器GTS激光自動對準(zhǔn)跟蹤測量儀采用目標(biāo)球自動鎖定技術(shù),目標(biāo)鎖定相機(jī)在斷光時會在小范圍內(nèi)自動搜索到目標(biāo)球,完成斷光續(xù)接,自動鎖定目標(biāo)球,全過程不需人為操作,提高測量效率。
中圖儀器GTS目標(biāo)球自動鎖定激光跟蹤測量儀目標(biāo)鎖定相機(jī)在斷光時會在小范圍內(nèi)自動搜索到目標(biāo)球,完成斷光續(xù)接,自動鎖定目標(biāo)球,全過程不需人為操作,提高測量效率。
SJ6000激光干涉機(jī)床校準(zhǔn)補(bǔ)償儀是一種高精度測量設(shè)備,采用邁克爾遜干涉原理進(jìn)行線性測量,可以測量機(jī)床的線性定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙等。它通過高精度的環(huán)境補(bǔ)償模塊,能夠自動補(bǔ)償激光波長和材料特性,從而確保測量結(jié)果的準(zhǔn)確性。
GTS激光定位跟蹤儀能夠解決大型、超大型工件和大型科學(xué)裝置、工業(yè)母機(jī)等全域高精度空間坐標(biāo)和空間姿態(tài)的測量問題,是高精度、便攜式的空間大尺寸坐標(biāo)測量機(jī)。
SJ6000導(dǎo)軌直線度激光干涉測量儀使用高性能氦氖激光器,結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng),達(dá)到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)。結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
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