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中圖儀器SuperViewW1光學(xué)檢測(cè)設(shè)備輪廓儀主要是用于測(cè)量表面形貌或測(cè)量表面輪廓尺寸，此外具有測(cè)量晶圓翹曲度的功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測(cè)量，應(yīng)變測(cè)量以及表面形貌測(cè)量。可測(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

中圖儀器SuperViewW系列高精密光學(xué)輪廓儀由照明光源系統(tǒng)，光學(xué)成像系統(tǒng)，垂直掃描系統(tǒng)以及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)構(gòu)成。以白光干涉技術(shù)為原理，能夠以優(yōu)于納米級(jí)的分辨率，測(cè)試各類表面并自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)，是一款非接觸測(cè)量樣品表面形貌的光學(xué)測(cè)量儀器。

SuperViewW1半導(dǎo)體光學(xué)輪廓測(cè)量儀器用于表面形貌紋理，微觀結(jié)構(gòu)分析，用于測(cè)試各類表面并自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)，廣泛應(yīng)用于光學(xué)，半導(dǎo)體，材料，精密機(jī)械等領(lǐng)域。是以白光干涉技術(shù)為原理，能夠以優(yōu)于納米級(jí)的分辨率，非接觸測(cè)量樣品表面形貌的光學(xué)測(cè)量儀器。

中圖儀器3d光學(xué)影像輪廓測(cè)量儀是一款非接觸測(cè)量樣品表面形貌的光學(xué)測(cè)量儀器。它以白光干涉技術(shù)為原理，能夠以優(yōu)于納米級(jí)的分辨率，測(cè)試各類表面并自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)，廣泛應(yīng)用于光學(xué)，半導(dǎo)體，材料，精密機(jī)械等領(lǐng)域。

SuperViewW1光學(xué)表面輪廓儀器通過利用接觸式及非接觸式雙模式基于技術(shù)上的優(yōu)勢(shì)獲得全面的表面特性。既可以用于科學(xué)研究，也可以用于工業(yè)產(chǎn)品的檢測(cè)。

中圖儀器SuperView W1非接觸三維表面輪廓測(cè)量儀器主要是用于測(cè)量表面形貌或測(cè)量表面輪廓，此外還具有測(cè)量晶圓翹曲度的功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測(cè)量，應(yīng)變測(cè)量以及表面形貌測(cè)量。既可以用于科學(xué)研究，也可以用于工業(yè)產(chǎn)品的檢測(cè)。