共聚焦顯微鏡在半導(dǎo)體行業(yè),精準(zhǔn)測量晶圓激光鐳射槽的三維輪廓
2023-05-04 半導(dǎo)體大規(guī)模生產(chǎn)過程中需要在晶圓上沉積集成電路芯片,然后再分割成各個單元,最后再進(jìn)行封裝和焊接,因此對晶圓切割槽尺寸進(jìn)行精準(zhǔn)控制和測量,是生產(chǎn)工藝中至關(guān)重要的環(huán)節(jié)。共聚焦顯微鏡能應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝,能夠?qū)哂袕?fù)雜形狀和陡峭的激光切割槽的表面特征進(jìn)行非接觸式掃描并重建三維形貌。共聚焦顯微鏡具有高光學(xué)分辨率,通過清晰的成像系統(tǒng)能夠細(xì)致觀察到晶圓表面的特征情況,例如:觀察晶圓表面是否出現(xiàn)崩邊、刮痕等缺陷。電動塔臺可以自動切換不同的物鏡倍率,軟件自動捕捉特征邊緣進(jìn)行二維尺寸快...光學(xué)輪廓儀在操作過程中,需要注意以下幾點(diǎn)
2023-04-23 光學(xué)輪廓儀是一種測量物體表面形狀的工具。它通過掃描物體表面,并記錄接收到的反射光信號來生成一個三維模型。原理基于三角測量法。當(dāng)激光束打在物體表面上時,它會被反射回來并通過鏡頭進(jìn)入相機(jī)。根據(jù)反射光線的角度和入射點(diǎn)與相機(jī)之間的距離,可以計算出物體表面的坐標(biāo)。通過不斷移動激光束和相機(jī),可以得到整個物體表面的三維坐標(biāo)數(shù)據(jù),從而生成一個完整的三維模型。光學(xué)輪廓儀具有許多優(yōu)點(diǎn)。首先,它可以非常精確地測量物體表面的形狀,可以達(dá)到亞毫米級別的精度。其次,它可以快速地測量大型物體的表面形狀,相...智能化驅(qū)使下,中圖儀器光學(xué)3D成像測量技術(shù)的創(chuàng)新應(yīng)用
2023-04-21 3D成像技術(shù)實(shí)現(xiàn)了二維到三維的升級。智能化制造下,具有3D成像功能的機(jī)器視覺系統(tǒng)可以更快,更準(zhǔn)確地檢查生產(chǎn)現(xiàn)場的組件。其中表面形貌的3D測量,包括了輪廓的測量以及表面粗糙度的測量,是微納結(jié)構(gòu)測量最為基礎(chǔ)和重要的項(xiàng)目。目前常用的微結(jié)構(gòu)表面形貌測量方法分為接觸式和非接觸式。運(yùn)用非接觸式測量技術(shù)的3D光學(xué)檢測儀器,大多是基于光學(xué)方法(干涉顯微法、自動聚焦法、激光干涉法、光學(xué)顯微干涉法等),可對精密零部件的表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸實(shí)現(xiàn)微納級測量,在微納米結(jié)構(gòu)檢測中有著重要意義。...SJ5780輪廓掃描測量儀全自動在線檢測航空發(fā)動機(jī)連接螺紋
2023-04-21 航空發(fā)動機(jī)是一種高度復(fù)雜的精密熱力機(jī)械。作為飛機(jī)飛行的動力,高性能航空發(fā)動機(jī)追求的是在有限的自身重量和工作空間,以及惡劣的工作條件下,達(dá)到長期穩(wěn)定的服役性能,所以它的設(shè)計、材料與制造技術(shù)的進(jìn)步起著關(guān)鍵性的作用。在航空發(fā)動機(jī)上,存在較多的通過螺紋連接方式連接的部件,所以作為發(fā)動機(jī)零部件之間的連接,對高強(qiáng)度連接螺紋的加工精度和表面質(zhì)量要求很高。中圖SJ5780在線智能螺紋輪廓掃描測量儀是一款大量程、高精度的主動掃描式綜合輪廓測量儀,可對航空發(fā)動機(jī)零部件高強(qiáng)度連接螺紋工件實(shí)現(xiàn)現(xiàn)場全...共聚焦顯微鏡——光伏產(chǎn)業(yè)制造智能化測量新技術(shù)
2023-04-17 我國智能光伏應(yīng)用持續(xù)升級,產(chǎn)業(yè)各環(huán)節(jié)產(chǎn)量又創(chuàng)新高。根據(jù)光伏行業(yè)規(guī)范公告企業(yè)信息和行業(yè)協(xié)會預(yù)測的數(shù)據(jù)來看,全國多晶硅、組件產(chǎn)量同比增長均超過60%,晶硅電池產(chǎn)品出口同比增長超過156%。作為全尺寸鏈精密測量儀器制造商,為加快推進(jìn)產(chǎn)業(yè)智能制造和現(xiàn)代化水平,有效提升光伏產(chǎn)業(yè)智能制造水平,中圖儀器VT6000共聚焦顯微鏡可以為太陽能行業(yè)實(shí)驗(yàn)室和生產(chǎn)過程檢測需求服務(wù),提供從二維到三維的多尺度檢測手段。VT6000共聚焦顯微鏡以針孔共聚焦技術(shù)為原理,結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D建模算法等對...關(guān)注公眾號,了解最新動態(tài)